| 序號 | 特征 | 4吋、5吋、6吋襯底參數 | |
| 1 | 摻雜劑 |
N,N+:Antimony,Arsine,phosporus P,P+:Boron |
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| 2 | 晶向 |
<100>,<111>,<110> |
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| 3 | 電阻率 | 0.001～1.0～100～10000Ω?cm | |
| 4 | 電阻率均勻性 |
≤25 |
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| 5 | 厚度 | 150～5000μm | |
| 6 | 總厚度變化 | ≤5 | |
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7 |
局部平整度 | ≤1.5 | |
| 8 | 翹曲度/彎度 | ≤35 | |
| 9 | 氧含量 | 8.0～18.0 | |
| 10 | 碳含量 | ＜1.0 | |
| 11 | 位錯/氧化層錯 | ＜100 | |
| 12 | 滑移線 | NONE | |
| 13 |
表面：霧、劃傷、凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪、崩邊、沾污 |
NONE | |
| 14 | 背面：崩邊、劃傷、凹坑、裂紋 |
NONE |
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| 15 |
表面顆粒 |
≥0.2um的≤30 ≥0.5um的≤3 ≥0.3um的≤10
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| 16 | 表面金屬 |
≤5E10 |
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